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Temperature Insensitive Micromachined GaAlAs/GaAs Vertical Cavity Wavelength Filter 온도에 민감하지 않은 미세 가공 GaAlAs/GaAs 수직 공동 파장 필터

Takeru AMANO, Fumio KOYAMA, Nobuhiko NISHIYAMA, Akihiro MATSUTANI, Kenichi IGA

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요약 :

GaAlAs/GaAs 분산 브래그 반사기(DBR)로 구성된 새로운 온도 민감형 파장 필터가 시연되었습니다. 이 미세 가공된 DBR은 차등 열 팽창을 통해 기계적으로 조정됩니다. 하나의 거울의 변형으로 인한 변위는 온도 의존성을 조정할 수 있는 파장 조정 및 트리밍 기능을 생성할 수 있습니다. 우리는 수직 캐비티 구조를 적절하게 설계함으로써 미세 가공된 반도체 필터의 온도 의존성을 제어하는 ​​데 성공했습니다. 달성된 온도 의존성은 기존 반도체 기반 광학 필터의 0.01/20인 +4nm/K만큼 작았습니다. 또한, 소자 제작이 완료된 후 XNUMX nm 이상의 파장 트리밍이 입증되었습니다. 게다가 우리는 XNUMX를 시연했습니다. 4개의 다중 파장 미세 가공 수직 캐비티 필터 어레이. 45 nm 파장 범위의 다중 파장 필터 어레이는 소자 상부 표면에 있는 GaAs 파장 조절층을 부분적으로 식각하여 제작하였다.

발행
IEICE TRANSACTIONS on Communications Vol.E84-B No.5 pp.1304-1310
발행일
2001/05/01
공개일
온라인 ISSN
DOI
원고의 종류
Special Section PAPER (Joint Special Issue on Recent Progress in Optoelectronics and Communications)
범주
광학 수동 장치 및 모듈

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