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Fabrication of Rugate Optical Filters Using a-SiOx:H Thin Films a-SiO를 이용한 루게이트 광학필터 제작x:H박막

Hidehiko YODA, Koichi MURO, Kazuo SHIRAISHI

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요약 :

Rugate 박막 광학 필터는 다단계 또는 삼각형 스펙트럼과 같은 임의 모양의 스펙트럼을 설계하는 데 유용합니다. 스펙트럼에서 원치 않는 잔물결을 억제하기 위해 루게이트 필터의 굴절률 분포를 합성하는 기술이 사용되었습니다. 비정질 수소화산화규소(a-SiO)의 굴절률x:H) RF(Radio-Frequency) 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 루게이트(rugate) 박막을 분해능 0.001로 미세하게 제어하였다. 제작된 루게이트 필터는 1260-1670 nm의 파장 범위에 걸쳐 다단계 밴드를 나타내거나 1290-1650 nm에 걸쳐 양호한 선형성을 나타냈습니다.

발행
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E91-C No.10 pp.1639-1643
발행일
2008/10/01
공개일
온라인 ISSN
1745-1353
DOI
10.1093/ietele/e91-c.10.1639
원고의 종류
Special Section PAPER (Special Section on Functional Thin Films for Optical Applications)
범주

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