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Observation of Blue-Light Emission from Tantalum Oxide Films Deposited by Radio-Frequency Magnetron Sputtering 무선 주파수 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 탄탈륨 산화물 필름의 청색광 방출 관찰

Kenta MIURA, Hiroki MIYAZAKI, Osamu HANAIZUMI

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요약 :

우리는 어닐링 후 고주파 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 탄탈륨 산화물 필름으로부터 청색 광발광을 얻었습니다. 광발광의 최대 피크 강도는 600°C에서 어닐링된 샘플에서 관찰되었습니다. 20분 동안, 피크 파장은 약 430 nm였습니다. 청색광을 방출하는 탄탈륨 산화물 필름은 Ta를 활용한 새로운 능동 광학 소자에 유용한 재료가 될 수 있습니다.2O5/시오2 다층 광결정.

발행
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E91-C No.10 pp.1669-1672
발행일
2008/10/01
공개일
온라인 ISSN
1745-1353
DOI
10.1093/ietele/e91-c.10.1669
원고의 종류
Special Section PAPER (Special Section on Functional Thin Films for Optical Applications)
범주

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