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Design and Development of 3-Dimensional Process Simulator 3차원 공정 시뮬레이터 설계 및 개발

Tetsunori WADA, Norihiko KOTANI

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요약 :

3차원 반도체 공정 시뮬레이터의 설계 개념과 배경을 제시한다. 반도체 공정 모델 개발의 기초가 되도록 설계되었습니다. 입력 언어는 시뮬레이션 시퀀스를 유연하게 제어할 수 있도록 설계되었으며, 해당 인터프리터 프로그램은 외부 소프트웨어를 제어하고 시스템에 통합할 수 있도록 설계되었습니다. 프로세스 시뮬레이터와 다른 소프트웨어 간의 데이터 교환을 실현하기 위해 자체 설명적 데이터 파일 형식이 설계되고 관련 프로그램 라이브러리가 개발되었습니다. XNUMX차원 공간에서 표류-확산형 편미분 방정식을 풀기 위한 C++ 클래스가 개발되었습니다.

발행
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E82-C No.6 pp.839-847
발행일
1999/06/25
공개일
온라인 ISSN
DOI
원고의 종류
Special Section INVITED PAPER (Special Issue on TCAD for Semiconductor Industries)
범주

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