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Process Synthesis Using TCAD: A Mixed-Signal Case Study TCAD를 사용한 프로세스 합성: 혼합 신호 사례 연구

Michael SMAYLING, John RODRIGUEZ, Alister YOUNG, Ichiro FUJII

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요약 :

향상된 시스템 통합을 허용하기 위해 PRISM 기술을 위해 복잡한 모듈식 프로세스 흐름이 개발되었습니다. 서브미크론 CMOS 로직, 비휘발성 메모리, 정밀 선형 및 전력 드라이버 등 필수 기능을 모놀리식 실리콘 칩에 결합하기 위해 프로세스 합성에 대한 고도로 구조화되고 체계적인 접근 방식이 개발되었습니다. TCAD 도구는 프로세스 설계 및 검증에 광범위하게 사용되었습니다. 60V LDMOS 파워 트랜지스터와 이 기술이 내장된 플래시 메모리 셀에 대해 설명하여 프로세스 합성 방법론을 설명합니다.

발행
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E82-C No.6 pp.983-991
발행일
1999/06/25
공개일
온라인 ISSN
DOI
원고의 종류
Special Section INVITED PAPER (Special Issue on TCAD for Semiconductor Industries)
범주

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