검색 기능은 준비 중입니다.
검색 기능은 준비 중입니다.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

Atomic Scale Simulation of Extended Defects: Monte Carlo Approach 확장된 결함의 원자 규모 시뮬레이션: 몬테카를로 접근법

Jaehee LEE, Taeyoung WON

  • 조회수

    0

  • 이것을 인용

요약 :

이 논문은 비소 침전의 이분자 반응에 대한 몬테카를로 계산을 보고합니다. 결합 속도 방정식에 대한 수치 솔루션의 정확도는 그리드 간격의 크기에 크게 좌우되므로 확장된 결함의 동작을 이해하려면 적절한 수의 속도 방정식을 선택해야 합니다. 따라서 우리는 확장된 결함의 크기 밀도의 시간 변화를 명시적으로 고려하는 확장된 결함에 대한 일반적인 동적 몬테카를로 모델을 개발했습니다. 몬테카를로 계산은 비활성화에 대한 실험 데이터와 정량적 일치를 나타내며 시작 단계의 빠른 비활성화와 후속 단계의 느린 비활성화를 성공적으로 재현합니다.

발행
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E83-C No.8 pp.1253-1258
발행일
2000/08/25
공개일
온라인 ISSN
DOI
원고의 종류
Special Section PAPER (Special Issue on 1999 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD'99))
범주
프로세스 모델링 및 시뮬레이션

작성자

키워드