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Preparation and Characterization of Nanoparticulate CoFe2O4 Thin Films by the Sol-Gel Method 나노입자형 CoFe의 제조 및 특성 분석2O4 Sol-Gel 방법에 의한 박막

Hyuk LIM, Young-Jei OH, Se-Young CHOI

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요약 :

Co-ferrite 박막은 킬레이팅 졸-겔 공정을 통해 코닝 유리 기판 위에 제조되었습니다. 필름의 구조적 및 자기적 특성은 X선 회절(XRD)과 진동 샘플 자력계를 사용하여 어닐링 온도의 함수로 연구되었습니다. XRD 결과는 대부분의 Co-ferrite 결정립이 무작위 방향으로 배열되어 있음을 보여주었습니다. 열처리의 변화와 특성비교를 위해 RA(Rapid Annealing) 공정과 SA(Standard Annealing) 공정을 사용하였다. 보자력은 열조건에 따라 변화하였고, 침지 시간에 따라 자화도 증가하였다. 그러나 침지 시간이 길어질수록 유리 기판에서 양이온이 확산되어 보자력이 감소합니다. Co-ferrite 박막 제조 시 RA는 계면에서의 상호확산을 방지하고, Soaking 시간 단축 시 단상 형성에 효과적이었다. Co-페라이트 층과 기판 사이의 이트리아 안정화 지르코니아(YSZ) 버퍼 층은 더 높은 온도에서 필름의 자기 특성을 향상시키는 데 효과적이었습니다. Co-ferrite 박막은 일반적으로 35 nm 크기의 입자로 구성되어 있으며 rms 거칠기는 약 1.3 nm인 것으로 관찰되었습니다. 900°C에서 급속 어닐링을 실시하여 박막의 포화 자화150초 동안의 C는 400 emu/cm였습니다.3 필름의 보자력은 약 3000 Oe였습니다.

발행
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E83-C No.9 pp.1483-1488
발행일
2000/09/25
공개일
온라인 ISSN
DOI
원고의 종류
Special Section PAPER (Special Issue on Selected Papers from the 4th Asian Symposium for Information Storage Technology)
범주

작성자

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