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Magnetic Properties and Recording Characteristics of Co-containing Ferrite Thin-Film Media Prepared by ECR Sputtering ECR 스퍼터링에 의해 제조된 페라이트 함유 합금박막 매체의 자기적 특성 및 기록특성 원문보기 KCI 원문보기 인용

Setsuo YAMAMOTO, Kei HIRATA, Hiroki KURISU, Mitsuru MATSUURA, Takanori DOI, Kousaku TAMARI

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요약 :

섭씨 150도의 낮은 기판 온도에서 반응성 ECR 스퍼터링에 의해 증착된 Co 함유 페라이트 박막 매체는 ECR 플라즈마에 의해 산화되었습니다. 매체의 자기적 특성과 기록특성은 매끄러운 표면을 유지하면서 산화처리를 통해 향상되었습니다. 언론에서는 높은 D를 보여줬어요50 MIG 헤드 기록 및 재생에서 203kFRPI. Co 함유 페라이트 박막은 보호 오버코트층으로 사용이 가능합니다.

발행
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E85-C No.10 pp.1750-1755
발행일
2002/10/01
공개일
온라인 ISSN
DOI
원고의 종류
Special Section PAPER (Special Issue on Recent Progress in Information Storage Technology)
범주

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