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Interface-Modified Ramp-Type Josephson Junctions in Trilayer Structures 삼중층 구조의 인터페이스 수정 램프형 조셉슨 접합

Masayuki MATSUSHITA, Yoichi OKABE

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요약 :

우리는 삼중층 구조의 램프형 조셉슨 접합을 제작했습니다. YBa의 이중층2Cu3O7-X (YBCO)/CEO2 SrTiO에 증착되었습니다.3 (100) 기판. 그런 다음 표준 포토리소그래피 공정을 사용하여 이중층 표면에 직경 2μm의 원형 패턴을 에칭했습니다. 이중층 표면에 45도의 입사각을 갖는 Ar 이온 밀링 동안 샘플이 회전되었습니다. 이 과정으로 인해 거꾸로 된 원뿔형이 형성되었습니다. 경사로 가장자리 표면을 수정한 후 상단 전극을 위해 또 다른 YBCO 필름을 증착했습니다. 접합점은 다음을 보여주었습니다. IV 저항성 션트 접합과 자속 흐름 유형 사이의 특성.

발행
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E85-C No.3 pp.769-771
발행일
2002/03/01
공개일
온라인 ISSN
DOI
원고의 종류
Special Section PAPER (Special Issue on Superconductive Electronics)
범주
접합 및 처리

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