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Si-Based Photonic Crystals and Photonic-Bandgap Waveguides Si 기반 광결정 및 광밴드갭 도파관

Masaya NOTOMI, Akihiko SHINYA, Eiichi KURAMOCHI, Itaru YOKOHAMA, Chiharu TAKAHASHI, Koji YAMADA, Jun-ichi TAKAHASHI, Takayuki KAWASHIMA, Shojiro KAWAKAMI

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요약 :

우리는 미래의 광집적회로 응용에 유망한 다양한 유형의 2D 및 3D Si 기반 광결정 구조를 연구했습니다. 2D SOI 광결정 슬라브에 대해서는 광통신 파장에서 넓은 광밴드갭의 형성을 확인하고 구조 튜닝을 사용하여 밴드갭 내에서 작동하는 효율적인 단일 모드 라인 결함 도파관을 구현했습니다. 3차원 광결정의 경우 리소그래피와 오토클로닝 증착법을 결합해 복잡한 3차원 구조를 구현했다. 우리는 이 전략을 사용하여 3D 풀갭 광결정과 3D/2D 하이브리드 광결정을 제작했습니다.

발행
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E85-C No.4 pp.1025-1032
발행일
2002/04/01
공개일
온라인 ISSN
DOI
원고의 종류
Special Section INVITED PAPER (Special Issue on Recent Progress of Integrated Photonic Devices)
범주
새로운 장치

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