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High Accuracy Test Techniques with Fine Pattern Generator and Ramp Test Circuit for CMOS Image Sensor CMOS 이미지 센서용 미세 패턴 생성기와 램프 테스트 회로를 사용한 고정밀 테스트 기술

Fukashi MORISHITA, Wataru SAITO, Norihito KATO, Yoichi IIZUKA, Masao ITO

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요약 :

본 논문에서는 CMOS 이미지 센서(CIS) 칩의 ADC 및 램프 생성기의 고정밀 측정을 위한 새로운 테스트 기술을 제안합니다. ADC의 테스트 회로에는 이중 경로가 있으며 각 열에 대한 입력을 정의하여 CIS 특정 특성을 전기적으로 평가할 수 있는 다기능 미세 패턴 생성기 기능이 있습니다. 램프 생성기용 테스트 회로는 온칩 전류 셀 테스트를 실현하고 1LSB 정확도 내에서 현재 셀 오류를 거부할 수 있습니다. 55nm CIS 공정을 이용하여 테스트 센서를 제작하고 IP 특성을 측정했습니다. 측정 결과 INL은 14.6LSB, 누화는 14.9LSB, 열 간섭 잡음은 5.4LSB로 나타났습니다. 이러한 측정 결과는 설계된 값과 일치합니다. 이 기술을 사용함으로써 광입력의 모호성에 영향을 받지 않고 정확한 ADC 측정이 구현될 수 있음을 확인했습니다.

발행
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E105-C No.7 pp.316-323
발행일
2022/07/01
공개일
2022/01/14
온라인 ISSN
1745-1353
DOI
10.1587/transele.2021CDP0001
원고의 종류
Special Section PAPER (Special Section on Solid-State Circuit Design — Architecture, Circuit, Device and Design Methodology)
범주

작성자

Fukashi MORISHITA
  Renesas Electronics Corporation
Wataru SAITO
  Renesas Electronics Corporation
Norihito KATO
  Renesas Electronics Corporation
Yoichi IIZUKA
  Renesas Electronics Corporation
Masao ITO
  Renesas Electronics Corporation

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