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On/Off Ratio of a Pentacene Field-Effect Transistor with a Discontinuous MoO3 Layer 불연속 MoO를 갖는 펜타센 전계 효과 트랜지스터의 온/오프 비율3

Takumi KOBAYASHI, Masahiro MINAGAWA, Akira BABA, Keizo KATO, Kazunari SHINBO

  • 조회수

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요약 :

펜타센 및 삼산화 몰리브덴(MoO)을 사용하여 유기 전계 효과 트랜지스터의 온/오프 비율 개선3) 층은 불연속적인 MoO의 제조를 통해 시도되었습니다.3 메쉬 마스크를 사용한 레이어. 세 가지 종류의 장치를 준비했습니다. 장치 A는 기존의 상단 접촉 구조를 가지고 있었습니다. n-타입 Si 웨이퍼와 200nm 두께의 SiO2 그 위에 70nm 두께의 펜타센 필름과 30nm 두께의 Au 상부 전극층을 증착했습니다. 장치 B와 C는 장치 A와 유사한 구조를 가지고 있지만 연속 및 불연속 MoO를 받았습니다.3 레이어. 장치 B의 오프 전류는 현저히 높았습니다. 대조적으로, 장치 C의 오프 전류는 감소되었으며 MoO의 분리에 따라 달라졌습니다.3 층. MoO가 없는 영역의 저항이 높은 것으로 추론되었습니다.3 오프 전류 감소에 기여했습니다.

발행
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E106-C No.6 pp.214-219
발행일
2023/06/01
공개일
2023/01/13
온라인 ISSN
1745-1353
DOI
10.1587/transele.2022OMP0001
원고의 종류
Special Section PAPER (Special Section on Recent Progress in Organic Molecular Electronics)
범주

작성자

Takumi KOBAYASHI
  Niigata Univ.
Masahiro MINAGAWA
  Nagaoka Coll.
Akira BABA
  Niigata Univ.
Keizo KATO
  Niigata Univ.
Kazunari SHINBO
  Nagaoka Coll.

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