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Open Access
Si-Photonics-Based Layer-to-Layer Coupler Toward 3D Optical Interconnection
오픈 액세스
3D 광 상호 연결을 위한 Si-Photonics 기반 레이어 간 커플러

Nobuhiko NISHIYAMA, JoonHyun KANG, Yuki KUNO, Kazuto ITOH, Yuki ATSUMI, Tomohiro AMEMIYA, Shigehisa ARAI

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요약 :

대규모 집적(LSI) 회로에서 3차원(1D) 광 상호 연결을 구현하기 위해 Si-포토닉스 플랫폼을 기반으로 하는 레이어 간 커플러가 검토되었습니다. 광학 누화 측면에서 3D 상호 연결에는 100μm 이상의 레이어 거리가 필요합니다. 레이어 간 광 커플러에 대한 이러한 요구 사항을 충족하기 위해 우리는 다층 거리 커플 링을 위한 금속 거울이 있는 한 쌍의 격자 커플러와 인접 레이어 거리 커플 링을 위한 테이퍼 유형 방향성 커플러의 두 가지 유형의 커플러를 제안했습니다. 두 구조 모두 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 호환 제조 공정을 통해 상대적으로 작은(~XNUMXμm) 장치 크기로 높은 결합 효율을 생성했습니다.

발행
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E101-C No.7 pp.501-508
발행일
2018/07/01
공개일
온라인 ISSN
1745-1353
DOI
10.1587/transele.E101.C.501
원고의 종류
Special Section INVITED PAPER (Special Section on Distinguished Papers in Photonics)
범주

작성자

Nobuhiko NISHIYAMA
  Tokyo Institute of Technology
JoonHyun KANG
  Tokyo Institute of Technology
Yuki KUNO
  Tokyo Institute of Technology
Kazuto ITOH
  Tokyo Institute of Technology
Yuki ATSUMI
  Tokyo Institute of Technology
Tomohiro AMEMIYA
  Tokyo Institute of Technology
Shigehisa ARAI
  Tokyo Institute of Technology

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