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An Analysis of Multi-Layer Inductors for Miniaturizing of GaAs MMIC GaAs MMIC의 소형화를 위한 다층 인덕터 분석

Yo YAMAGUCHI, Takana KAHO, Motoharu SASAKI, Kenjiro NISHIKAWA, Tomohiro SEKI, Tadao NAKAGAWA, Kazuhiro UEHARA, Kiyomichi ARAKI

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요약 :

GaAs 2차원 MMIC 기반으로 새로 개발된 다층 인덕터를 소개합니다. 우리는 11개 이상의 레이어를 가진 GaAs MMIC의 인덕터에 대한 첫 번째 보고서일 수 있는 단일, 이중, 삼중 및 2중 적층형 인덕터를 분석했습니다. 단일층 및 다층 인덕터의 성능은 전자기장 시뮬레이션을 통해 측정 및 계산되었습니다. 다층 인덕터는 동일한 크기에도 불구하고 XNUMXD-MMIC에서 기존 인덕터보다 XNUMX~XNUMX배 더 높은 인덕턴스를 생성합니다. 이는 제안된 다층 인덕터가 기존 인덕터에 비해 동일한 인덕턴스로 더 작은 면적을 갖는다는 것을 의미한다. 또한 기생 용량과 같은 성능 요소가 어떻게 작동하는지에 대한 최초의 조사를 수행했습니다. Q-인덕터 및 자기 공진 주파수는 기존 인덕터에 비해 다층 인덕터에서 저하됩니다. 다층 인덕터를 사용하는 마이크로파 증폭기가 시연되었으며 회로 크기를 20%까지 줄이는 것으로 나타났습니다.

발행
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E93-C No.7 pp.1119-1125
발행일
2010/07/01
공개일
온라인 ISSN
1745-1353
DOI
10.1587/transele.E93.C.1119
원고의 종류
Special Section PAPER (Special Section on Recent Progress in Microwave and Millimeter-Wave Technologies)
범주

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