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Fast Surface Profiling by White-Light Interferometry Using Symmetric Spectral Optical Filter 대칭 스펙트럼 광학 필터를 사용한 백색광 간섭계를 통한 빠른 표면 프로파일링

Akira HIRABAYASHI

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요약 :

우리는 샘플링 간격을 기존 알고리즘에서 사용되는 것 중 가장 넓은 간격의 두 배로 확장하는 백색광 간섭계에 의한 표면 프로파일링 알고리즘을 제안합니다. 제안된 알고리즘은 다음과 같은 새로운 함수를 사용합니다. 동위상 성분 기존 알고리즘은 제곱 봉투 함수 또는 봉투 함수를 사용했지만 간섭 무늬의 피크를 감지하기 위해 간섭 무늬를 사용했습니다. 우리는 광학 필터가 대칭적인 스펙트럼 분포를 가질 때 동위상 성분이 해당 간섭무늬와 동일한 피크를 가짐을 보여줍니다. 우리는 또한 소위 직교 샘플링 기술을 사용하여 간섭계의 샘플링된 값으로부터 동위상 구성요소를 재구성할 수 있음을 보여줍니다. 알고리즘에 사용된 재구성 공식은 매우 간단하므로 제안하는 알고리즘은 계산 비용이 저렴하다. 시뮬레이션 결과는 제안된 알고리즘의 효율성을 보여준다.

발행
IEICE TRANSACTIONS on Fundamentals Vol.E93-A No.2 pp.542-549
발행일
2010/02/01
공개일
온라인 ISSN
1745-1337
DOI
10.1587/transfun.E93.A.542
원고의 종류
PAPER
범주
측정 기술

작성자

키워드